型号 | 被测物质 | 分子式 | 可检测范围 ppm |
19LA | 砷化氢 | AsH3 | 0.04-10 |
21 | 羰基硫 | COS | 5-200 |
21LA | 2-125 | ||
22 | 乙硼烷 | B2H6 | 0.02-5.0 |
23M | 二氧化氯 | ClO2 | 0.1-10 |
23L | 0.025-1.2 |
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19LA | 砷化氢 | AsH3 | 0.04-10 |
21 | 羰基硫 | COS | 5-200 |
21LA | 2-125 | ||
22 | 乙硼烷 | B2H6 | 0.02-5.0 |
23M | 二氧化氯 | ClO2 | 0.1-10 |
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