技术参数
概念 |
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电源 | 单相220 VAC, 50 / 60 Hz |
射频电源 |
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直流电源(可选) |
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磁控溅射头
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溅射靶材 |
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真空腔体
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样品台 |
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真空泵 |
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石英振荡测厚仪(可选) | 可选购精密石英振荡测厚仪,安装在真空腔体内,实时测量薄膜的厚度,精确度为0.1 ?(需水冷) |
净重 | 60kg |
质量认证 | CE认证 |
质保 | 一年质保期,终生维护 |
应用注意事项 |
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经销商
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离子溅射仪
售后服务
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