输出体积有0-50和0-100升/分钟; 0-250升/分钟;0-20和0-30升/分钟,0-1,0-5和0-10升/分钟可选。
仪器包括:净化器,输入和输出压力表,转子流量计或LED,输出流量调节阀。
输出空气纯度: ozone臭氧, methane甲烷, hydrocarbons烃, NO/NOx氮氧化物, H2S硫化氢, S02, COS羰基硫, CO, CO2, SF6氟化硫 and fluorocarbons碳氟化合物 < 1 ppb
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