产品包括 FS-1™多波长椭偏仪,带紧凑自动 mapping 样品 台,可以实现快速,准确和可靠的薄膜均匀性测量。
特点和参数
n 4 段波长的椭偏数据(465, 525, 580, 635 nm),寿命长 的 LED 光源,探测器内无可移动部件
n 可对 0-1000nm 透明薄膜进行准确的厚度测量
n 标准浓厚重复性 0.015 nm
n 集成聚焦探针,标准光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm (其他尺寸 可选)
n 电动 Z 轴样品台自动准直
n 灵活扫描图案编辑器
n 测量参数等值线绘制
聚焦光束选件
样品上光束尺寸减小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm
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经销商
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