技术特点
【技术特点】-- 非球面透镜应力双折射测量系统
不规则非球面光学元件应力分布测量系统
(光刻机透镜测量等)
世界首台不规则非球面光学元件(光刻机透镜等)应力分布测量系统
利用光弹调制器技术,Hinds 公司的应力双折射测量系统可以在深紫外(193nm)波段进行应力双折射探测。
针对特定材料制作(氟化钙)和特定形状(非球面透镜)有着独家的技术解决方案。
应力双折射测量系统,非球面透镜应力双折射测量,应力椭偏仪,应力椭偏测量
Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力分布测量系统(应力双折射测量系统)通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向,这些数据同时也表示了应力的大小和方向。Hinds 公司这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统独创的倾斜,多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件(光刻机透镜等)有着完美的扫描测量解决方案。
产品特点:
1. 全套内置软件自动扫描成图
2. 非球面扫描(手动宏程序)
3. 应力大小及方向分布探测成图
4. 定制各种尺寸形状样品台
5. 最低探测强度:皮瓦
【技术特点对用户带来的好处】-- 非球面透镜应力双折射测量系统
【典型应用举例】-- 非球面透镜应力双折射测量系统
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