技术特点
【技术特点】-- 亚纳米级二维微动台
亚纳米级二维微动台
亚纳米级二维定位工作台!
AU-NPS-XY系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,使其达到纳米级的分辨率和重复性。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。
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AU-NPS-XY-100系列纳米二维定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
利用有限元分析对柔性铰链结构进行分析,使其在整个行程中产生的角位移低于25微弧度。在整个行程中可以保持更好的直线性。线性误差小于0.01%,滞后小于0.005%。
上海昊量光电设备公司推出的亚纳米二维微动台主要包括NPS-XY-100A和NPS-XY-100B两款产品。产品性能大体相似。材质有所差异。
其中AU-NPS-XY-100A采用超级不胀钢(因瓦合金)材质,其热膨胀系数极小达到0.3ppm K-1,使热漂移达到最小,这对于纳米级的工作台来说是极其重要的。
AU-NPS-XY-100B采用铝合金结构,虽然相对于因瓦合金来说有较高的热膨胀系数(23ppm K-1),但是由于其拥有较轻的移动质量,因此具有更高的速度。
u 主要特点
l 亚纳米级的分辨率
l 高的带宽
l 高速响应
l 高的可靠性
l 结构紧凑
l 压电陶瓷驱动
l 柔性铰链设计
l 电容位移传感器闭环反馈
u 主要应用
高精度显微镜、原子力显微镜、扫描探针纤维镜、近场扫描光学显微镜等。
【技术特点对用户带来的好处】-- 亚纳米级二维微动台
【典型应用举例】-- 亚纳米级二维微动台
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