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物镜Z轴纳米扫描

tel: 400-6699-117 1000

昊量光电其它光学测量仪, AU-OSM-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。

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u  主要参数 

              型号

  参数

AU-OSM-Z-100B

AU-OSM-Z-400A

Material

Stainless Steel

Titanium alloy

Size  

56 long x 46 diameter

100 (L) x 49 (H) x 46 (?)

Cable Length (m)

2

2

Range (mm)

100 (Typical)

400 (min)

Static stiffness (N/μm)

1.5

0.5

Resonant frequency: 0g load

600 Hz

280   

Maximum load (kg)

0.6

0.5

Small signal settle time

<4 ms

10 ms


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