【技术特点】-- 单轴Z向压电扫描台/纳米平移台

单轴Z向压电扫描台/纳米平移台

单轴（Z轴）压电扫描台

超低热漂移的单轴(Z轴)压电扫描台！

AU-NPS-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，精度可达到亚纳米量级。其前安装面可以与AU-NPS-XY-100A相结合，提供三维的定位控制。

Nanopositioning Stages 纳米定位工作台 微定位工作台 微动台 压电精密定位系统，压电陶瓷，PZT，锆钛酸铅, piezoelectric ceramic transducer

AU-NPS-Z系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

该产品可以单独作为微动台，其前参考面可以使活动面定位接近甚至于安装面共线。其拥有亚纳米的重复性和高的重复性而且在整个行程中平台几乎没有离轴角度偏差。此外该产品其前安装面可以与AU-NPS-XY-100A相结合，提供三维的定位控制。

对于大行程的纳米定位台，采用目前业内最尖端的双传感技术与以往相比可以提供更快的响应速度，提高有效载荷出现变化时的稳定性和更高的带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器，其操作简便，为用户提供顶尖性能。

上海昊量光电设备有限公司推出的单轴压电扫描台主要分为两类

①  超低热漂移的单轴压电扫描台

该系列的Z轴扫描台主要包括AU-NPS-Z-15A和AU-NPS-Z-15H两种产品，这两款产品材质均采用不胀钢，因此具有极地的热漂移。不胀钢具有更高的刚度，因此具有较高的带宽，极短的响应时间。拥有极高的线性度和极低的迟滞现象。两款产品均可与AU-NPS-XY-100A相结合，提供三维的定位控制台。两者也有不同之处。

AU-NPS-Z-15H平台是中空的，主要是在高分辨率的显微镜中用于搬运光纤和微小样品。

AU-NPS-Z-15A压电平台为普通的平台，相比于AU-NPS-Z-15H，拥有更高的自振频率可达到3500HZ。

②大行程Z轴压电扫描台

AU-NPS-Z-500A为一款大行程的Z轴压电扫描台，行程可达到500mm。在且在整个行程中采用电容位移传感器闭环设计和对柔性铰链先进的设计，使其具有较高分辨率，较好的线性度(0.01%)和重复性（<3nm）以及较低的迟滞（0.02%）。并采用双传感技术，可提供更快的响应速度（小于20ms）。此外该产品可以按照客户需求进行定制，并提供用于真空和低温条件使用版本的设备。

u  主要特点

l  亚纳米的分辨率

l  高的带宽

l  高速响应

l  高的可靠性

l  压电陶瓷驱动

l  柔性铰链设计

l  电容位移传感器闭环反馈

u  主要应用 

  扫描探针显微镜、计量学、干涉度量学、扫描光学显微镜、原子力显微镜、精密工程等。

【技术特点对用户带来的好处】-- 单轴Z向压电扫描台/纳米平移台

【典型应用举例】-- 单轴Z向压电扫描台/纳米平移台