技术参数

显微镜配置               显微镜/视频显微镜

显微镜                      放大倍数50倍

视频成像配置            CCD成像系统，放大倍数300倍

样品台尺寸80mm     漏电电流<10fA

真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可选)

探针座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探针配置                  尺寸 0.5X30mm 材质 金

温度范围                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     温度可到1000K

观察窗尺寸              100mm

真空系统                  机械泵或分子泵

接口配置                  三同轴

测试源表                  连接各类测试源表，并可进行相应的软件二次开发，加大系统整合性及测试稳定性