技术特点
【技术特点】-- 滑动式二硫化钼CVD制备设备
一、 概述
硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计(在1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀),通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二、 设备组成
HCVD-1200S双温区管式炉,HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成。
【技术特点对用户带来的好处】-- 滑动式二硫化钼CVD制备设备
【典型应用举例】-- 滑动式二硫化钼CVD制备设备
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