布鲁克纳米压痕仪、划痕仪, 布鲁克Hysitron PI 85L是SEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，利用SEM的高分辨率，可以直接观测整个材料动态变化的过程。传统纳米压痕仪通过光学显微镜或原位扫描只能观察到压痕前及压痕后的形貌变化，中间过程无法观察到，载荷位移曲线上的一些突变我们无法解释，甚至单从曲线分析会导致错误的解释。