孔径

3.6 x4.8mm2 

8.9 x11.8mm2

8.0 x8.0mm2

3.6x4.8mm2

13.44x10.08mm2 

9.6x7.68mm2 

空间分辨率

29.6μm 

29.6μm 

32μm 

29.6μm 

140μm 

120μm 

测量点数

160x120

300x400

250x250

160x120

96x72 

80X64 

波长范围

350-1100nm

350-1100nm 

190-400nm 

1.5-1.6μm 

3-5μm和8-14μm 

0.9- 1.7μm 

准确度

10nm RMS  

10nm RMS  

10nm RMS 

>15nm RMS

75nm RMS 

10nm RMS 

动态范围

>100μm 

>500μm 

>200um

>100μm 

/ 

~100μm 

 采集速度 

 60 fps 

 10 fps 

30 fps

60 fps

50 fps

25/30/50/60fps 

 处理速度 

>10fps 

>3 fps  

1fps 

<10fps 

20 Hz 

>10Hz 

技术 

四波横向剪切干涉 

夏克-哈特曼 

是对夏克-哈特曼技术的改进，投放市场时，已经申请技术zl。 

重建方式 

傅里叶变换 

分区方法（直接数值积分）或模式法（多项式拟合） 

SH：夏克-哈特曼波前探测器，局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元，可能会增加信号误差，并且，在某些情况下，产生严重影响。 在分区方法中，边界条件很重要。

强度 

由于采用傅里叶变换方法，测量对强度变化不敏感 

由于需要测量焦点位置，测量对强度变化灵敏 

Phasics：测量精度，波前测量不依赖于强度水平 

使用、对准方便 

界面直观，利用针孔进行对准 

安装困难，需要精密的调节台 

Phasics： 产品使用方便 

取样（测量点） 

SID4-HR达300X400测量点 

128X128测量点（多个微透镜） 

Phasics：具有很高的分辨率，这使得测量更可靠，也更稳定 

数值孔径 

SID4 HR  NA：0.5 

NA：0.1 

Phasics：动态范围更高 

空间分辨率 

29.6μm 

115μm 

Phasics：具有更好的空间分辨率 

重复性（rms） 

2nm RMS 

λ/200( 5nm @1053 nm) 

Phasics：更好的重复率，更稳定 

获取频率 

10fps 

7.5fps 

Phasics：分析速度快 

处理频率 

>3Hz（全分辨率） 

5Hz 

照度 

phasics的技术可以消色差。系统对不同波长和带宽响应一致。无需对每个波长进行校准。 

夏克-哈特曼技术基于微透镜，其特性依赖于波长（由于玻璃色散）。仪器需要在每个波长处校正。 

PHASICS更灵活：可以测试宽波段，而不需要校准。