振镜

355nm~12um

~40度

亚毫秒级

中等

精度高

多面转镜

355nm~12um

360度

亚微秒级

很高

速度快

损伤阈值高

MEMS扫描镜

425nm~1600nm

70度

微秒级

>2W (可能更高，取决于镜面大小与工作波长)

体积小、重量轻、功耗低、偏转角度大、与驱动电压线性度好

声光偏转器

266nm~1100m

88 毫弧度

<5us

50MW/cm^2

无机械振动

速度快

性价比高

电光偏转器

240~1100nm

4-5 毫弧度

100MHz（3.5ns 上升下降沿）

500W/cm2   for CW Laser

150MW/cm2for Pulsed Laser

高速度线性精确可控   用在生物成像光镊等领域

液晶相控阵

400~1620nm

±7度@1550nm

>500Hz

10W/cm2 for CW laser

10MW/cm2 for Pulsed Laser

偏转角度大，效率高

液晶偏振光栅

458nm~1550nm

+/-40度

<1ms

/

通光孔径大、偏转角度大、效率高、结构简单