项目 | 内容 | |
---|---|---|
分辨率 |
1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2 | |
放大倍率 |
10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素) | |
电子光学系统 | 电子枪 | ZrO /W 肖特基式电子枪 |
加速电压 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进) | |
着陆电压 | 减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1 | |
zei大束流 | > 200 nA | |
探测器 | 低位二次电子探测器 | |
低真空模式*2 | 真空范围: 10 - 300 Pa | |
马达台 | 马达台控制 | 5 - 轴自动 (优中心) |
可动范围 |
X:0~100mm Y:0~50mm Z:3~65mm T:-20~90° R:360° | |
zei大样品尺寸 |
zei大直径: 200 mm zei大高度: 80 mm | |
选配探测器 |
|
*1:减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
*2:低真空功能(包含5分割半导体探测器)
*3:空压机(本地采购)
【主要参数】
电子枪 | ZrO/W 肖特基式场发射电子枪 |
加速电压 | 0.5~30kV |
着陆电压 | 0.1~2kV |
分辨率 | 2.0nm@1kV(*1)、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式(*2) |
放大倍率 | 底片倍率:10~600000倍、显示倍率:18~1000000倍 |
5轴马达台 | X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:3~65mm、T:-20~90°、R:360° |
*1:减速模式是选配项 *2:低真空模式是选配项
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