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Si上镀Ge薄膜

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合肥科晶其它物性测试仪器, Si上镀Ge薄膜(进口?Ge?epi-film?on?N-type?Silicon?Wafer,?0.5?um?thic......

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产品名称:

Si上镀Ge薄膜(进口?Ge?epi-film?on?N-type?Silicon?Wafer,?0.5?um?thickness?)

技术参数:

Si基片参数:N型掺P; dia 4inch  x 0.5mm-0.55mm 

Si晶向:<100> with flats 2 SEMI-STD on Axis 0 degree offSi

电阻率:1-10ohm.cmParticles:< 50 @ >0.20 um

Ge薄膜参数:0.5 um +/- 3%;<100>;N型;P型掺杂浓度:(1-5)E19 /ccCurrent 

RMS spec:表面粗糙度 < 2 nm

 

产品尺寸:

dia4 inch or 10x10mm

 

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒


厂家资料

地址:安徽省合肥市科学院路10号

电话:400-6699-117 转 1000

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