【技术特点】-- F54 薄膜厚度测量仪

详细介绍

自动化薄膜厚度分布图案系统

依靠F54先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

可测样品膜层

基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：

相关应用

半导体制造

• 光刻胶• 氧化物/氮化物/SOI• 晶圆研磨减薄/封装

液晶显示器

• 盒厚• 聚酰亚胺• ITO

光学镀膜

• 硬涂层• 抗反射涂层• 滤光片

微电子

• 光刻胶• 硅膜• 氧化铝/氧化锌薄膜滤镜

产品优势

动化薄膜厚度分布图案系统依靠F54先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

【技术特点对用户带来的好处】-- F54 薄膜厚度测量仪

【典型应用举例】-- F54 薄膜厚度测量仪