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小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

tel: 400-6699-117 1000

合肥科晶马弗炉/电阻炉/实验炉, 两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。

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技术特点

【技术特点】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

  • 高纯石英管

  • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

温度控制系统

  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。

  • 控温仪表操作视频

  • 设置有超温和断热偶报警

  • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)

  • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
     (点击图片查看详细资料)

真空法兰

  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表

  • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计
     

滑轨长度

1200mm

真空度

  • 10E-2 torr(采用机械泵)



【技术特点对用户带来的好处】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL


【典型应用举例】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL



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