技术特点
【技术特点】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪
1:四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪 型号:KDK-KDY-1
四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。小游移四探针头,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
备注:
等级测量时(测电阻率),精度<3%
电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内
备注:
仪器包括:主机一台;测试架(包括台面)一个;四探针头1个
【技术特点对用户带来的好处】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪
【典型应用举例】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪
四探针测试仪
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