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日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

tel: 400-6699-117 1000

日立扫描电镜SEM, 可变压力,高分辨率;支持XRF,电子背散射衍射系统......

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二次电子分辨率 1.2nm@30KV
3.0nm@1KV
4.5nm@30KV,150Pa
背散射电子分辨率 3.5nm@30KV
放大倍率 10~600,000(输出尺寸127x96mm)
电子枪类型 热场发射
探针电流 1pA~200nA
加速电压 0.5~30KV
物镜光阑 自清洁、4孔可动式
束闸 电磁式
样品台 电脑控制的5轴优中心马达样品台
X 0~110mm
Y 0~110mm
Z 4~40mm
T -5°~+70°
R 360°
zei大样品尺寸 直径150mmx 高40mm
探头 二次电子探头
背散射电子探头

 

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地址:北京市朝阳区东三环北路5号北京发展大厦1405室

电话:400-6699-117 转 1000

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