二次电子分辨率 | 1.2nm@30KV |
3.0nm@1KV | |
4.5nm@30KV,150Pa | |
背散射电子分辨率 | 3.5nm@30KV |
放大倍率 | 10~600,000(输出尺寸127x96mm) |
电子枪类型 | 热场发射 |
探针电流 | 1pA~200nA |
加速电压 | 0.5~30KV |
物镜光阑 | 自清洁、4孔可动式 |
束闸 | 电磁式 |
样品台 | 电脑控制的5轴优中心马达样品台 |
X | 0~110mm |
Y | 0~110mm |
Z | 4~40mm |
T | -5°~+70° |
R | 360° |
zei大样品尺寸 | 直径150mmx 高40mm |
探头 | 二次电子探头 |
背散射电子探头 |
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