技术特点
【技术特点】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
该显微镜采用可变压力(VP)技术,除了具有高分辨率成像和样品物性表征特性外,还支持X 射线能谱仪, X射线波谱仪以及电子背散射衍射系统进行各种样品分析。在可变压力模式下,操作者可改变样品室的真空状态由高真空状态改为低真空状态。
电子枪:ZrO/W肖特基场发射电子枪
分辨率:1.2 nm /30 kV,3.0 nm /1 kV
探针电流:1pA~200nA
样品仓压力:10-4Pa(高真空), 10~300Pa(低真空)
样品尺寸:zei大直径150 mm×高40 mm
1.zei大200nA的探针电流,可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能,可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头,可选配ESED
4.大型分析型样品室,可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台
【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
【典型应用举例】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜
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