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德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

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Diener Electronic半导体专用检测仪器设备, 该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。

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【技术特点】-- 德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备

该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。


【技术特点对用户带来的好处】-- 德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备


【典型应用举例】-- 德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备



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