Diener P6聚对二甲苯薄膜涂层系统技术参数:
parylene N, C, D, F-VT4
涂层厚度: 0.05 ~ 20 um
外形尺寸:W700*D500*700mm:
裂解管功率及温度:
1.6 kW / max. 750 °C
样品舱:
直径:200mm 高度:200mm
样品台:
直径:170mm 高度:170mm
液氮/冷阱冷却
真空泵:
双极油泵
排气速度:16m3/h
极限真空度:1*10-3mbar
控制:
Windows Full PC
230 V/16 A/50-60 Hz
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