三维台阶仪参数：

定位台行程范围：X: 200 mm    Y: 200 mm    Z: 200 mm (电动)

接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s

                 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s

非接触式测量范围：

                范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s

                范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s

                范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s

                范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s