| 项目 | 参数 | 指标 |
| 基本单元（稀释配气部分） | 稀释气流量范围 | 0～5SLM、0～10SLM、0～20SLM可选 |
| 标气流量范围 | 0～50sccm、0～100sccm、0～200sccm可选 | |
| 流量控制准确度 | ±1% F.S. | |
| 流量线性 | ±（0.5～1）% F.S. | |
| 流量控制重复性 | ±0.2% F.S. | |
| 标气输入口 | 4个 | |
| 稀释气输入口 | 1个 | |
| 响应时间 | ﹤60s（98%） | |
| 臭氧发生器 | 输出 | 0.1～6ppm |
| 稳定性 | ﹤1%/7d（有光度计）；﹤3%/7d（无光度计） | |
| 线性度 | ﹤1%（有光度计）；﹤3%（无光度计） | |
| 臭氧光度计 | 量程 | （0～0.1）ppm，（0～10）ppm |
| 准确度 | 1.0 ppb | |
| 线性度 | 1% F.S. | |
| 上升/下降时间 | ﹤20s | |
| 响应时间 | 180s（98%） | |
| 零点漂移 | <1.0 ppb / 7d | |
| 量程漂移 | <2% /7 d | |
| 整机 | 电源 | 100～240V AC；45～55Hz |
| 仪器尺寸（H X W X D） | （178X432 X609）mm | |
| 重量 | <15kg（基本单元）<20kg（包括臭氧发生器及臭氧光度计） | |
| 工作温度 | 0～40℃ | |
| 工作湿度 | 0～95% RH | |
| 通讯方式 | 支持RS232、RS485通讯 |
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