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产品参数：
测量目标 | 硅片 |
测量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm扫描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 红光，Class1M |
测量时间 | 20ms |
重复性 | 0.1μm |
输出监控 | 干扰信号（电学） |
PC接口 | 网口 |
供电 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
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