CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

CXF-250/2301型磁悬浮分子泵

       磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10^-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。

产品特点

节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％

高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

技术指标

应用领域

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理

科学研究、加速器、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件

技术指标

抽速速率（L/s）：N2：2300   Ar：2250   He：1900   H2：850

压缩比：N2：＞1E7   Ar：＞1E7   He：＞1E4   H2：＞1E3

极限压强（Pa）：1E-7（橡胶密封）   1E-8（金属密封） 

进气口法兰：DN250 ISO F（标配）   DN250 CF(可选)   DN250 LF(可定制)  

排气口法兰：KF40

额定转速（rpm）：27000

启动时间（min）：≤8

停机时间（min）：≤25

安装方式：任意角度

冷却方式：水冷

推荐前级泵抽速（l/s）：≥22

重量（kg）（ISO F）：60

供电电源（V AC）：220±10％，50Hz        110±10％，60Hz

推荐冷却水温度（℃）：20±5

冷却水流量（L/min）：3

最大瞬时入口流量（sccm）：N2：1300

最大连续出口压强（Pa）：300

尺寸

CXF-250/2301型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。

CXF-250/2301型泵外形尺寸参数表（单位：mm）

产品特性