技术指标

进气口法兰：DN400 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN100

抽速速率（L/s）：N2：3600 He：2750 H2：1300 Ar：3300

压缩比：N2：1E8 He：1E3 H2：1E2 Ar：1E8

极限压强（Pa）：2E-6

最大连续前级压强（Pa）：100

最大前级压强（Pa）：N2：300

最大气载量（sccm）：N2：5500 He：4000 H2：3200 Ar：2100

额定转速（RPM）：13500

启动时间（min）：≤18

冷却方式：水冷

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤1100

适配电源型号：FD-III、TCDP-III

建议前级泵（L/s）：30

重量（kg）：130

尺寸