CXF-200/1401型磁悬浮分子泵

CXF-200/1401型磁悬浮分子泵

       磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10^-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。

产品特点

节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％

高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

技术指标

应用领域

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理

科学研究、加速器、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥

技术指标

抽速速率（L/s）：N2：1400  Ar：1360  He：880  H2：560

压缩比：N2：＞1E7  Ar：＞1E7  He：＞1E4  H2：＞1E3

极限压强（Pa）：1E-6（橡胶密封）   1E-7（金属密封）  

进气口法兰：DN200 ISO F（标配）  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制) 

排气口法兰：KF40

额定转速（rpm）：30000

启动时间（min）：≤6

停机时间（min）：≤16

安装方式：任意角度

冷却方式：水冷

推荐前级泵抽速（l/s）：≥16

推荐冷却水温度（℃）：20±5

供电电源（V AC）：220±10％，50Hz            110±10％，60Hz

尺寸

CXF-200/1401型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。

CXF-200/1401型泵外形尺寸参数表（单位：mm）

产品特性