瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜_技术特点

反射式数字全息显微镜

反射式配置数字全息显微镜，无需扫描，非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号：

R1000-配备单一光源，是测量光滑表面和振动的标准测量工具

R2100-同时配置双波长，实现复杂或不连续结构的测量。

R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力，特别是测量透明模式。

反射式DHM的特性：

快速3D样貌测量法	MEMS分析，最高频率可达25Mh
DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制。无与伦比的快速采集，相机速度达1000fps允许：可变形样品的3D动态研究常规检查与高生产率短余辉荧光屏及大型表面的分析捕捉生产线的三维地貌	同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供：三维地貌的时序共振频率和响应振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm 表征复杂运动和样品
测量可控制环境条件	透明模式的地貌测量
DHM独特的光学配置允许用户测量最佳光学质量指标：通过玻璃和浸没液体内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分。	可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量：透明结构的地形厚度和折射率，多层结构的厚度值从10nm到几十微米柔软材料和液体的地形