技术参数:
仪器名称,型号/参数 | 行程 | zei小步长 | zei大步长 | 负载 (N) | 重复定位精度(双向) | 倾斜力矩(Mx,My,Mz)(Nm) | 速度 | ||
纳米旋转位移台 NDT 24-30 | 无限旋转角度 | 40 μrad | 100μrad | max.2 | max.0.1 | max.100mrad/s | |||
纳米旋转位移台 NDT 24-30-MSI | 无限旋转角度 | 40 μrad | 100μrad | max.2 | 40μrad | max.0.1 | max.300mrad/s | ||
纳米角度位移台 NAGO P 24-8 | ±3.3 度 | 2 μrad | 6 μrad | max.2 | max.0.1 | ||||
纳米角度位移台 NAGO T 24-8 | ±4度 | 2 μrad | 6 μrad | max.2 | max.0.1 | ||||
纳米升降位移台 NHV 24-6 | 6mm | 100nm | 300nm | max.3 | max.0.1 | ||||
纳米升降位移台 NHV 24-6-MSI | 6mm | 50nm | 700nm | max.3 | 400 nm | max.0.1 | |||
纳米线性位移台 NLV 24-7 | 7mm | 200nm | 300nm | max.2 | max.0.1 | max.0.3mm/s | |||
纳米线性位移台 NLV 24-7-MSI | 7mm | 50nm | 700nm | max.2 | 400nm | max.0.1 | max.0.7mm/s | ||
纳米线性位移台 PT 30-5 | 4.8mm | 300nm | 800nm | max.30 | max.0.5 | max.0.8mm/s | |||
纳米线性位移台 PT 30-5-MSI | 4.8mm | 100nm | 2000nm | max.30 | 400nm | max.0.5 | max.2mm/s |
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