3.1主体规格

◆X坐标行程:    200（mm）

◆Y坐标行程：   100（mm）

◆Z坐标行程:    150（mm）
◆X、Y坐标测量示值误差≤（3+L/150）μm ，L为被测长度(单位：mm)
◆X、Y、Z数显分辨率：0.001mm   （新天光电）
◆透射照明光源：24V/20W卤素钨灯（舜宇）
◆反射照明光源：可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心，带滤色片插槽与偏光装置插槽；（舜宇）

3.2目视系统
◆物镜放大倍数：五孔旋转器，标配5X、10X、20X、50X无限远长工作距离明场金相物镜（舜宇）

◆目镜放大倍数：10X( 单、双目同) （舜宇）
◆总放大倍数：  50X-500X（包括畸变在内的）
◆物镜放大倍数误差：放大率误差≤0.08%

3.3影像系统
◆标配CCD相机0.5X镜筒（舜宇）

◆CCD：300万千兆网口高清晰CCD摄像头（海康）
◆综合影像放大倍数：500X以上