测量体积

650×680×400mm

外形尺寸

1311×1604×2088mm

重量

1500kg

容量

100kg

床台材质

花岗岩

电源要求

93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp

X，Y轴精确度

U= 3.5 +L/150μm

Z轴精确度

U= 3.8 +L/100μm

X，Y加速

1000mm/s2

Z加速

500mm/s2

X，Y速度

150mm/s2

光栅尺分辨率

0.1μm

轮廓光，同轴光，表面光

红光LED技术（黑白机种使用）

白光LED技术（彩色机种使用）

光学镜头/倍率范围

12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable   Zoom/15x-1200x 

环境

20℃（680F）± 20,30-80％Humidity