技术特点
【技术特点】-- 辛耘清洗蚀刻设备
辛耘科技致力于高端清洗蚀刻设备的研发和生产 拥有强大的研发与软件编写团队 实现完全自主的软硬件售后服务和升级 最大程度地解决了客户的后顾之优 产品涵盖2”~12”主流湿法工艺以及薄片、大功率器件、高温制程、电镀 、化镀 、等特殊应用、广泛应用于半导体、三五族、微机电、和LED领域
特点:
高稳定性与高可靠度
自有的软硬件设计及完善QC系统
可提供客制化与量产设计
可灵活实现 手动 半自动 全自动及干进干出 功能
多种可选择的晶圆传递方式(cassette /cassetteless /both type)
友好的人机操作界面
完整的全自动生产(包括SMIF、晶圆传递、晶圆盒的自动传递)
完善的客服系统
唯一可提供cassetteless传输的local厂家
应用领域:
半导体/三五族/微机电:
4”-12” 相关清洗、显影、蚀刻等制程
LED :
蓝宝石基板清洗工艺(切割、研磨、抛光段应用、PSS图形化衬底应用)前后端工序中的清洗、显影、蚀刻、去胶、高温磷酸(侧腐蚀工艺)、化镀金工艺等湿法应用
【技术特点对用户带来的好处】-- 辛耘清洗蚀刻设备
【典型应用举例】-- 辛耘清洗蚀刻设备
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