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Verity EPD 光谱仪

tel: 400-6699-117 1000

Verity半导体专用检测仪器设备, 等离子体处理中的端点检测和诊断技术。......

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技术特点
【技术特点】-- Verity EPD 光谱仪

仪器简介:

应用: 
◆蚀刻-半导体-砷化镓等 
◆蚀刻-平板显示 
◆蚀刻-微机电系统 
◆化学气相沉积 
◆去光阻 
◆化学机械研磨




主要特点:

◆等离子诊断 
◆缺陷检测 
◆200-800纳米 
◆制程监控 
◆符合RoHS要求 
◆科研级CCD 
◆体积小 
◆软件功能强大 
◆可独立操作



【技术特点对用户带来的好处】-- Verity EPD 光谱仪


【典型应用举例】-- Verity EPD 光谱仪


厂家资料

地址:中国上海浦东新区福山路450号新天国际大厦22A室

电话:400-6699-117 转1000

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