技术特点
【技术特点】-- Apex® RF電源系統
Apex® RF電源系統 |
通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統採用複雜的射頻轉換技術,在適合於反應室安裝的模組化設計中提供增大的產品和製程可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或資料存儲製造以電漿為基礎的薄膜製程中表現優異。 |
【技术特点对用户带来的好处】-- Apex® RF電源系統
【典型应用举例】-- Apex® RF電源系統
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