技术特点
【技术特点】-- Ovation VHF電源系統
Ovation VHF電源系統 |
Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案,能夠實現更快、更精確的製程過程,如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下,為非 50-ohm 環境供電,反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能,最大限度地減小了離子蝕刻損傷,從而提高了薄膜品質和良品率。 |
【技术特点对用户带来的好处】-- Ovation VHF電源系統
【典型应用举例】-- Ovation VHF電源系統
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