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高精度光学测量显微镜 Hawk Elite

tel: 400-6699-117 1000

VISION工业显微镜/工具显微镜, Hawk Elite非接触式光学测量系统,专业高精尖产品制造公司而设计。......

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技术

光学器件

zl双光瞳单目镜 Dynascope™无限远修正光学系统,十字光标网格已经预先居中与双眼对齐。

放大倍率选项(系统总计)

可以选择微距物镜和微型物镜 单一的微距物镜包括调节景深用的可调光圈,可以提高边缘清晰度。 微型物镜安装在四工位转台阵列内。

微距物镜

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
1x10x84mm14.2mm270μm
2x20x81mm7.1mm67μm
5x50x61mm2.8mm10μm
10x100x32mm1.4mm6μm

微型物镜(标准工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
5x50x20mm4.4mm12.22μm
10x100x10.1mm2.2mm3.06μm
20x200x3.1mm1.1mm1.3μm
50x500x0.66mm0.44mm0.43μm

微型物镜(长工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
10x100x21mm2.2mm4.4μm
20x200x12mm1.1mm1.72μm
50x500x10.6mm0.44mm1.10μm
100x1000x3.4mm0.22mm0.43μm

微型物镜(超长工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
20x200x21mm1.1mm2.24μm
50x500x15mm0.44mm1.36μm

 

软件

  • ND 1200加固微处理器

  • M3测量软件

  • IK5300测量软件

配件

  • 底部滤色片(强化异形或者车削零件的清晰度)

系统详细信息

测量台
测量范围(X、Y)150mm x150mm
测量范围(Z)202mm(最大244mm)*
测量精度U954D = 4+(5.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.004mm
0.004mm
0.004mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.0005mm
0.001mm
0.0005mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色可控可编程象限LED环形灯。
反射照明装置可控可编程LED反射照明装置 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够提供清晰界定的边缘。
尺寸
宽 x深 x 高540mm x 700mm x 780mm

 

测量台

测量范围(X、Y)200mm x150mm200mm x 150mm CNC
测量范围(Z)202mm(最大244mm)*202mm(最大244mm)*
测量精度U952D = 2+(4.5L/1000)μmU952D = 2+(4.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.002mm
0.002mm
0.004mm**
 
0.002mm
0.002mm
0.004mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
 
0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
自动化

测量台移动手动机动化
照明选项

表面照明亮白色可控可编程象限LED环形灯。
反射照明可控可编程LED反射照明 镜后测光(TTL)
微型物镜需要反射照明。

底部照明可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸

宽 x深 x 高750mm x 700mm x 780mm

 

测量台
测量范围(X、Y)300mm x 225mm
测量范围(Z)最大89mm*
测量精度U9515D = 2+(6.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.010mm
0.010mm
0.010mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.001mm
0.001mm
0.001mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色LED环形灯
反射照明反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸
宽 x深 x 高1100mm x 980mm x 700mm

 

测量台
测量范围(X、Y)400mm x 300mm
测量范围(Z)最大89mm*
测量精度U952D = 15+(8.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.010mm
0.010mm
0.010mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.001mm
0.001mm
0.001mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色LED环形灯
反射照明反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸
宽 x深 x 高1200mm x 1020mm x 700mm

 

* 取决于配置。
**以使用10倍微距镜头(100倍系统放大倍率)为基础。

其中L=测得的长度,单位mm(200倍系统放大倍率,根据受控条件)。

测量台校准

所有精密测量台的标准配置都包括出厂前非线性误差修正(NLEC)校准。


厂家资料

地址:上海市浦东新区张江微电子港7号楼7楼

电话:400-6699-117 转 1000

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