| 项目 | 内容 | |
| SEM | 电子源 | 冷场场发射型 |
| 加速电压 | 0.1 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 2.1 nm@1 kV | |
| 1.6 nm@15 kV | ||
| FIB | 离子源 | 镓 |
| 加速电压 | 0.5 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 4.0 nm@30 kV | |
| 最大束流 | 100 nA | |
| 标准探测器 | In-colum二次电子探测器/In-colum背散射电子探测器/ | |
| 样品室二次电子探测器 | ||
| 样品台 | X | 0 ～ 20 mm *2 |
| Y | 0 ～ 20 mm *2 | |
| Z | 0 ～ 20 mm *2 | |
| θ | 0 ～ 360° *2 | |
| τ | -25 ～ 45° *2 | |
| 最大样品尺寸 | 正方形边长6 mm × 厚度2 mm | |
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