样品室大小

直径120mm x 120mm 高

靶材

Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;

规格：直径57mm x 0.1mm厚

样品台

可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为60mm

溅射控制

微处理器控制，安全互锁

溅射电流

微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制

溅射头

低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

计量表

真空： Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA

厚度监控
  (选件)

使用高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度

控制方法

具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s）

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

100L/MIN

极限真空

≤1 x 10^-3 Torr

噪音

50dB