技术参数
溅射系统 | |
样品室大小 | 直径120mm x 120mm 高 |
靶材 | Au 靶为标配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (选件); 规格:直径57mm x 0.1mm厚 |
样品台 | 可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为60mm |
溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁 |
溅射电流 | 微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流40mA,程序化数字控制 |
溅射头 | 低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩 |
计量表 | 真空: Atm - 0.001mbar,电流:0~50mA |
厚度监控 | 使用高分辨厚度监控仪(选件)精确测定所镀膜的厚度 |
控制方法 | 具有气体换气和泄气功能,带有“暂停”控制的数字定时器(5-300s) |
真空系统 | |
真空泵 | 2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 | 100L/MIN |
极限真空 | |
噪音 | 50dB |
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经销商
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镀膜机
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