技术参数:
1. 玻璃处理室:Φ108mm,高度135mm;
2. 试样台尺寸:Φ40mm,可同时放6个样品杯;
3. 金靶尺寸:Φ57mm;
4. 真空系统:静音直联旋片真空泵2L/S;
5. 真空检测:定制皮氏计,配合真空指针表,灵敏可靠;
6. 真空保护:20pa配有微量充气阀调节工作真空;
7. 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气节;
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经销商
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离子溅射仪
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