蔡司Gemini Sigma 300/VP SEM超高分辨率场发射扫描电镜

技术参数

分辨率： 0.8nm @15 kV；1.4nm @1kV

放大倍数：12-2,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 3pA-20nA（100nA可选）

低真空范围： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

样品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

样品台：5轴优中心全自动   

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 连续

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

【技术参数】
       分辨率：1.0nm@30kV STEM 、1.0nm @15 kV  、1.8nm @1kV
       放大倍数：10-1,000,000×
       加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）
       探针电流： 3pA～20nA（100nA选配）  稳定性优于 0.2%/h
       低真空范围： 2-133Pa （Sigma 300VP可用）
       样品室： 365 mm（φ），275mm（h）
       样品台：5轴优中心全自动    X=125mm  Y=125 mm  Z=50 mm  T=-10o-90o  R=360o 连续
       系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
       存储分辨率：32k x 24k pixels

参考技术指标：杭州电子科技大学 电镜等设备 QSZB-H-C17126HDZ

项目二、电子束曝光平台（进口）

1.电子光学系统

★1.1 分辨率：SE:15kV下优于1.2nm，1kV下优于2.2nm(非减速模式)；

1.2 放大倍率：12-1,000,000倍（底片放大倍率），根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准；

1.3 加速电压：0.02kV～30kV，每档100V连续可调；

1.4 镜筒内电子束无交叉光路设计，保证卓越的低电压性能；

1.5 电子枪：肖特基热场发射电子枪；

1.6 电子束流：zei大束流不小于20nA；

1.7 束流稳定性：优于0.2%/h，抗噪声性能优于1%/h；

1.8 镜筒内具有静电透镜设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性材料进行高分辨成像；

★1.9 工作距离：1-50mm，能谱仪在35º出射角时分析工作距离可近到9mm内；

1.10 可变光阑孔：不低于6孔。

2.样品室及样品台

★2.1 样品室：宽度或者内部直径不小于360mm，高度不小于270mm；

2.2 样品台：五轴全自动马达样品台；

★2.3 抽屉式拉门，样品台移动zei大范围不小于：120mm（X方向），120mm（Y方向），50m（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转）；

2.4 配置马达台快捷控制器或轨迹球、多功能旋钮操作控制面板、多功能键盘；

2.5 样品座：标配有九孔样品座，多目的样品座。

★3.探测器

3.1 样品室二次电子探测器；

3.2 安装在物镜上方正光轴上镜筒内二次电子探测器；

3.3 样品室内独立背散射电子探测器；

3.4 样品室IR-CCD相机，与主机同品牌。

4.真空系统

4.1 机械泵、分子泵和离子泵；

★4.2 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa，电子枪真空度：优于10-7Pa数量级。

5.数字图像记录系统

5.1 图像扫描：zei大3072×2304像素；

5.2 图像显示：1240×768像素，不小于24”LCD显示器；

5.3 图像记录：TIFF,BMP或JPEG。

6.控制和数据处理系统

6.1 基于网络架构的数据传输系统；

6.2 配套计算机：Intel i5 Quad Core Processor以上CPU；DDRII 4G内存；SATA-II 250G以上硬盘；独立显卡；DVD刻录机；不小于24”LCD显示器；

6.3 Windows7操作系统；

6.4 操作方式：可自动调节电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；

6.5原厂全进口高精度束闸1套。

7.标准应用软件

7.1 样品台图像导航功能；

7.2 鼠标拖曳式放大及对中功能。

8.图形发生器

8.1 电子束曝光图形发生器的扫描频率不低于6MHz，zei小停留时间不高于167ns，zei小步距增量不大于0.1nm；

8.2 配备用于X和Y方向束偏转的两块高速数据收集和控制系统（16位）；

★8.3 配备6块乘法数模，16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变；

8.4 提供电子束曝光样品架、写场校准标样CHESSY、能谱转换盒、电子束曝光工具箱、电子束曝光工作站等；

8.5 提供用于测量束电流大小的皮安表，电流测量范围为10pA~10nA，测量精度需达到pA级别；

8.6 配备专业电子束曝光软件，基于Windows 7系统的软件包，采用多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数；

8.7 无缝集成GDSII编辑器，可对曝光图形进行分层设计，具有处理复杂图形的能力，数据输入格式可以为DXF, ASCII,CIF等；

8.8 集成成像和尺寸度量功能，并可在线或离线的状态下，进行图形测量等分析。

9.稳压电源：6KVA UPS稳压电源1套，可持续供电15分钟以上。

其他：

1.交货时间：合同签订后6个月内；

2.安装调试：中标方负责免费安装、调试，并提交经采购人签字认可的安装调试报告。设备送达采购人指定地点后，中标方应在收到采购人通知后2周内派遣合格的技术人员前往采购人指定地点进行安装调试，并在10天内完成设备的安装、调试工作。如因中标方责任而造成安装调试延期，由此而产生的所有费用由中标方承担。设备安装调试所需要的人工、材料、工具、辅件和测试样品等均由中标方负责提供，所需费用包含在投标总报价内；

3.设备出现故障时，中标方在接到采购人通知后4小时内响应，如有必要24小时内派出维修人员到达现场进行服务；质保期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，中标方负责免费维修；质保期满后，中标人提供终身维修及技术服务，保证零配件的供应，零配件价格享有中标价同等折扣。