Aep Technology NanoMap-D双模式三维形貌仪

仪器简介：

NanoMap-D (双模式) 三维轮廓仪使成像提高到一个新的水平。它所具有技术竞争力在于接触式和光学三维轮廓仪的完美结合。自动采样运动和一键测量功能使得 NanoMap-D 在三维图像世界里向前更进一步。

通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。NanoMap-D给使用者带来更高水平的的测量灵活性。该平台几乎可以测量任何样品（甚至包括反射率0%，非平面样品）

开放式平台架构采用花岗岩，光学平面参考平台。测试仪可以测试变长200mm的扫描区域（更大的扫描范围选择亦可实现）。白光干涉仪要配合使用防震平台和隔音罩 以确保绝对的消除噪音。

NanoMap-D 可以呈现2维和3维图像。利用所提供的软件，通过设置一些选项、可以得到客户需求的的曲线、标绘、视图（例如直方图及雷达图等）

NanoMap-D 可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在最大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生极高分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。因为电压驱动比XY轴运动更为精确所以探针扫描产生的图像要远远好于样品台扫描得到的图像。通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。

垂直分辨率 高精度扫描0.1nm;大范围扫描0.01um

垂直测量范围  高精度扫描最大到 5um; 大范围扫描最大到 2000um

扫描范围 达到 150mm x 150mm (仍可提升)

XY 轴样品台扫描精度 0.1um;

探针压力 0.01mg到 100mg

光学观测系统视野范围 1.5 x 1.5mm

I明场、暗场调节 软件设置强度
NanoMap-D双模式扫描三维表面轮廓仪是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款测量计量型设备。既可以
用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

1、三维表面结构：粗糙度,波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等
2、二维图像分析：距离,半径,斜坡,格子图, 轮廓线等
3、表界面测量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量
6、微电子表面分析和MEMS表征

主要特点：

包含接触式和非接触式两种扫描方式

高精度
· 卓越的纵向分辨率：0.1 nm ( 接触式)；2 nm（光学非接触式）
· 对周围环境和光源的强适应性
· 没有机械过滤
宽阔的垂直测量范围
· 多种选择光学头及接触式
· 纵向扫描范围 300 to 3900 μm
· 图像“缝合”技术使再大的表面也能呈现在一幅图像内
试用于几乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光强等多种材料
· 垂直台阶，高宽深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，软材料，柔性材料表面
· 尖锐的，坚硬的，磨损的表面
适应性强
· 白光光源，人体安全设计，长寿命白光LED 免维护。可以用于各种环境的实验室，甚至工业生产环境。
· 接触式轮廓仪和非接触式轮廓仪技术的完美结合
· 接触式轮廓仪针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从10μm X 10μm 到500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到150mm。
· 在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察
· 针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（最大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率　（最小０.１nm ）
· 软件设置恒定微力接触(0.1 to 100 [mg])