技术特点
【技术特点】-- NIE-3000 (C) 离子束清洗系统
低成本
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片(NIE-3500)
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
表面处理
离子铣
表面清洗
带活性气体的离子束刻蚀: 光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀
【技术特点对用户带来的好处】-- NIE-3000 (C) 离子束清洗系统
【典型应用举例】-- NIE-3000 (C) 离子束清洗系统
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