离子束:高达2KV/10mA
离子电流密度100-360uA/cm2
离子束直径:4“,5“,6“
兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
极限真空5x10-7Torr
260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵
14“不锈钢或铝质腔体
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那诺-马斯特半导体专用检测仪器设备, 该系统为全自动上下载片,并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。
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