【技术特点】-- NIE-3500 (AC) 全自动离子束清洗系统

• 低成本

• 带预真空锁，自动上下载片

• 水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)

• 自动上下载片（NIE-3500）

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 表面处理

• 离子铣

• 带活性气体的离子束刻蚀：  光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀

【技术特点对用户带来的好处】-- NIE-3500 (AC) 全自动离子束清洗系统

【典型应用举例】-- NIE-3500 (AC) 全自动离子束清洗系统