独立式系统
ICP或者微波等离子源
14”立方的电抛光不锈钢腔体
8”或者12”的基片夹具
700°C旋转基片夹具用于6”样品台,950°C用于4”样品台
增加鼓泡器和MFC
自动上下片
集群配置可兼容
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镀膜机
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那诺-马斯特镀膜机, 该系统具有5个鼓泡装置、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵、PC全自动控制,完全的安全互锁。
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