【技术特点】-- NMC-3000 MOCVD金属有机化学气相沉积系统

• 台式系统

• 5个带独立冷却槽的起泡器

• 加热的气体管路

• 950 °C样品台，2”晶圆片

• 3个气体环

• RF等离子源，带淋浴头气体分布

• 工艺完成后N2自动冲洗

• 极限真空5x10-7Torr

• 260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵

  
  

• 
  

【技术特点对用户带来的好处】-- NMC-3000 MOCVD金属有机化学气相沉积系统

【典型应用举例】-- NMC-3000 MOCVD金属有机化学气相沉积系统