物镜种类*1 | 极高分辨率 (UHR)型 | 高分辨率 (HR)型 | 样品高倾斜 (HT)型 | 高衬度 (HC)型 |
分辨率 | ||||
点分辨率 晶格分辨率 | 0.17nm 0.1nm | 0.19nm 0.1nm | 0.21nm 0.1nm | 0.26nm 0.14nm |
能量分辨率 | 0.9 eV(零损失FWHM) | |||
加速电压 | 300kV,200kV,100kV*2 | |||
zei小步长 能量位移 | 100V zei大3,000V (以0.2V为步长) | |||
电子枪 | ||||
发射体 | ZrO/W(100) 肖特基式 | |||
亮度 | ≧7×108 A/cm2 ・ sr | |||
真空度 | 3×10-8Pa | |||
探针电流 | 探针直径为1nm时,电流在0.5nA以上 | |||
稳定度 | ||||
加速电压 | 2×10-6/min | |||
物镜电流 | 1×10-6/min | |||
过滤器透镜电流 | 1×10-6/min | |||
物镜 | ||||
焦距 | 2.7 mm | 3.0 mm | 3.5 mm | 3.9 mm |
球差系数 | 0.6 mm | 1.1 mm | 1.4 mm | 3.2 mm |
色差系数 | 1.5 mm | 1.8 mm | 2.2 mm | 3.0 mm |
zei小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.5 nm | 4.1 nm |
束斑尺寸 | ||||
TEM 模式 | 2 ~ 5 nmφ | 2 ~ 5 nmφ | 7 ~ 30 nmφ | |
EDS 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | 4 ~ 20 nmφ | |
NBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
CBD 模式 | 0.4 ~ 1.6 nmφ | 0.5 ~ 2.4 nmφ | - | |
电子束衍射 | ||||
衍射角(2α) | 1.5 t~ 20 mrad | - | ||
取出角 | ±10 ° | - | ||
倍率 | ||||
MAG 模式 | ×2,500 ~ 1,500,000 | ×2,000 ~ 1,200,000 | ×1,500 ~ 1,200,000 | |
LOW MAG 模式 | ×100 ~ 3,000 | |||
SA MAG 模式 | ×8,000 ~ 600,000 | ×6,000 ~ 500,000 | ×5,000 ~ 500,000 | |
视野 | 10eV时狭缝宽度60mm(底片上) 2eV时狭缝宽度25mm(底片上) | |||
相机长度 | ||||
选区电子衍射 | 200 ~ 2,000 mm | 250 ~ 2,500 mm | 400 ~ 3,000 mm | |
EELS 散射 | ||||
能量选择 | 0.85 μm/eV , 300 kV | |||
在能量选择狭缝上 | 100 ~ 220 μm/eV , 300kV | |||
样品室 | ||||
样品移动范围 (X,Y;Z) | X,Y : 2 mm Z : 0.2 mm | X,Y : 2 mm Z : 0.4 mm | ||
样品倾斜角 (X/Y) | ±25°/±25°*3 | ±35°/±30°*3 | ±42°/±30°*3 | ±38°/±30°*3 |
EDS*4 | ||||
固体角 | 0.13 sr | 0.09 sr | ||
取出角 | 25° | 20° |
*1 : 订货时请指定物镜种类。
*2 : 加速电压为100、200kV时,使用加速管短路开关(选配件)。
*3 : 使用样品双倾样品杆(EM-31630)。
*4 : 需要EDS系统(选配件),使用规格为30mm2的检测器时的数値。
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