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电抛光14“立方体或21“x21“x22“不锈钢优化蒸镀腔体
680 l/sec 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
4x 15CC pocket电子枪
电子束源和基片遮板
6KW开关电源，杰出的消弧性能
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气相色谱仪GC
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那诺-马斯特/Nano-Master
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那诺-马斯特气相色谱仪GC, NANO-MASTER NEE-4000电子束蒸发系统有两种不同的构造可供选择，并可通过电脑控制单个电子束蒸镀的蒸镀速率。
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